超純水是美國(guó)科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的水，這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì)，更沒(méi)有**、病毒、含氯二惡英等有機(jī)物，當(dāng)然也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，超純水無(wú)硬度，口感較甜，又常稱為軟水，可直接飲用，也可煮沸飲用。超純水水質(zhì)純化方法用途。
   超純水,是一般工藝很難達(dá)到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm（沒(méi)有明顯界線），則稱為超純水。

水質(zhì)純化可分為:蒸餾法、離子交換法、活性碳吸附法、微孔過(guò)濾法、超過(guò)濾法、紫外線照射法、電滲析法（EDI）和反滲透法（RO）等等。離子交換法，即是以圓球形樹脂（離子交換樹脂）過(guò)濾原水，水中的離子會(huì)與固定在樹脂上的離子交換，常見(jiàn)的兩種離子交換方法分別是硬水軟化和去離子法。硬水軟化主要是用在反滲透（RO）處理之前，先將水質(zhì)硬度降低的一種前處理程序。活性碳吸附法，利用活性碳過(guò)濾器的孔隙大小及有機(jī)物通過(guò)孔隙時(shí)的滲透除去非離子性的有機(jī)物，一般將活性碳過(guò)濾器安裝在離子交換樹脂之前。微孔過(guò)濾法，一般被置于純化系統(tǒng)中的*終使用點(diǎn)，以去除*后殘留的微量樹脂碎片、碳屑、膠質(zhì)顆粒和微生物。反滲透（RO）法是可達(dá)到90%-99%雜質(zhì)去除率中*經(jīng)濟(jì)的方法，通常用于過(guò)濾除直徑小于1nm的污染物。而純水的水質(zhì)監(jiān)測(cè)中，關(guān)鍵指標(biāo)有：電導(dǎo)率/電阻K、總有機(jī)碳水平、PH值、熱源水平、微生物含量等。

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